本文へスキップ

Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

マスクアライナーMA-10 

マスクアライナー

ミカサ社製 MA-10 

【仕様】

 試料はφ4インチ、マスクは5インチ角まで対応
 水銀灯250W光源(オプション500W仕様も可)
 二視野顕微鏡採用

【特徴】
 UV露光,マニュアルタイプ,コンタクト露光機
 二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)