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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

マスクアライナーMA-10 

マスクアライナー

ミカサ社製 MA-10 

【特徴】
UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機。
二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメント。

【仕様】
試料は 4 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応
水銀灯250W光源(ブロード波長)
二視野顕微鏡採用


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)