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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

集束イオンビーム装置SMI2050

集束イオンビーム装置

日立ハイテクサイエンス SMI2050

【特徴】
断面加工・観察やSEM/TEM用任意試料片切出し加工を、高精度・高速度で行なえます。
ナノデバイス加工やワイングラスに代表されるマイクロマシニングツールとしての応用も広がっています。
SEMと同等の分解能(5nm)を実現。

【仕様】
ステージサイズ:2inch
C銃, W銃装備, 電子銃:500eV
加速電圧:30keV
最小ビーム径:4nm


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)