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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

RFスパッタ成膜装置群SVC-700LRF  

RFスパッタ成膜装置 絶縁体成膜用

サンユー電子社製 SVC-700LRF  

【仕様】

 試料サイズ:max 4inch
 (絶縁体用)

【特徴】
 SiO2, Al2O3等の絶縁体の蒸着が可能です。



ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)