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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

集束イオンビーム誘起化学蒸着装置Nvision 40D with NPVE

集束イオンビーム誘起化学蒸着装置

ZEISS社製 Nvision 40D with NPVE

【仕様】

ステージサイズ:max 8inch
Pt銃、SiO2銃装備
FE-SEMユニット, 加速電圧:30keV
検出器:InLens, SE,Esb
FIBユニット, 加速電圧:30keV
最小ビーム径:4nm

【特徴】
 30keVのGa+イオンによるFIB加工及び加工時のSEM観察が可能
 FIBによる気相蒸着によりPtおよびSiO2による配線の修復が可能


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)