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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

多元DC/RFスパッタ装置EB1100 

多元DC/RFスパッタ装置

キャノンアネルバ EB1100  

【仕様】

Au, Pt, Cr成膜用

ターゲット基板間距離100300mm可変
全自動(排気、搬送、成膜)
最大200mm基板対応可能

【特徴】
 サブ10nm粒子の蒸着
 
ロードロック室を標準装備し、全自動走査可
 


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)