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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

高精細集束イオンビーム装置ORION NanoFab

高精細集束イオンビーム装置

ZEISS  “ORION NanoFab”

【仕様】

Heイオンビーム 1035kV 分解能 0.5nm

Neイオンビーム 1030kV 分解能 1.9nm

Pt銃、SiO2銃、XeF2銃装備

【特徴】
【FIB】サブ10nmクラスの微細加工

【ヘリウムイオン顕微鏡】(He/0.5nm
  中和銃装備のため絶縁体を導電性処理無しに
  観察可能


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)