大阪大学　阪大複合機能ナノファウンダリ

文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業
[ナノテクノロジー・ネットワーク]

阪大複合機能ナノファウンダリ

URLが新しくなりました。新しいURLは次の通りです。
http://foundry.osaka-u.ac.jp

○　平成２１年度支援利用受付中です。　○

概　　要
　　

文部科学省は、大学、独立行政法人等の研究機関が有する先端的な施設・機器について、広範な分野における幅広い利用（以下、共用という。）を促進し、イノベーションにつながる成果を創出することを目的として、「先端研究施設共用イノベーション創出事業」を実施しています。その一翼をになう「ナノテクノロジー・ネットワーク」プロジェクトにおいては、ナノテクノロジー研究の特性にふさわしい機器を配し、ナノテクノロジー研究環境として求められる研究機能を有する機関を採択し、全国の産学官の研究者に最先端の研究環境を提供しています。　
　
　国立大学法人大阪大学の産業科学研究所と超高圧電子顕微鏡センターとが連携して組織した「阪大複合機能ナノファウンダリ」は、このナノテクノロジー・ネットワークの一機関として採択され、平成１９年４月より研究支援を開始しました。この「阪大複合機能ナノファウンダリ」は、（１）ナノ計測・分析、（２）超微細加工、（３）分子合成・薄膜合成の３つの領域・機能を有しています。両部局は、これまでに金属・酸化物・有機物・バイオなど多種多様な材料を扱ってきており、その豊富な経験を相互に交流させながら、これら３つの領域・機能における研究支援を提供します。また、本ナノファウンダリでは、コンサルティング機能を充実させるとともに、企業や研究機関との有機的な連携を深めて、技術相談や人材育成の場を提供します。

　本支援事業を支える中核的技術要素として、世界最高加速電圧（３００万ボルト）を誇る超高圧電子顕微鏡、低温磁気プローバー等のナノ計測・分析装置群、30keV EBリソグラフィ装置、収束イオンビーム装置、フェムト秒レーザー３次元加工装置等の超微細加工装置群、パルスレーザーMBE装置、EB蒸着装置等の分子・薄膜合成を支える装置群、を備えています。

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支援の内容

本ナノファウンダリでは次の領域・機能における研究支援を実施します。

（１）ナノ計測・分析（超高圧電子顕微鏡センター）
　　　ⅰ）マイクロメートルスケールの厚さの試料内部をナノメートルスケール分解能で構造解析できる世界最高の300MVの加速性能を有する超高圧電子顕微鏡等の提供。
　　　ⅱ）本センターにて蓄積してきた材料や生体の試料作製と電顕観察等のテクニックを提供。
　　　ⅲ）観察から効率的に結果を得る分析力と解析力を提供。

（２）超微細加工（産業科学研究所）
　　　ⅰ）薄膜試料の極微細加工とデバイス化。
　　　ⅱ）薄膜の物性測定やデバイスの評価。

（３）分子合成・薄膜合成（産業科学研究所）
　　　ⅰ）有機物・無機物・金属等の持つ機能を最大限に利用し、空間的・エネルギー的に最適な配列や組合せを考慮した原子・分子配列を有する材料創製。
　　　ⅱ）薄膜形成・人工格子形成。